研究設備

酸化物薄膜トランジスタ作製設備（伊都キャンパス）

ドライプロセス：

スパッタ装置、ドライエッチング装置、CVD装置、アニーリング装置

ウェットプロセス：

ウェットエッチング装置、リムーバー装置、ガラス洗浄装置、マスク洗浄装置

リソグラフィープロセス：

露光装置、塗布装置、現像装置、ベーク装置

プリントプロセス：

塗布装置、スクリーン印刷装置、インクジェット装置、封止装置

第１クリーンルーム（GIC）

成膜装置：

ECRスパッタリング装置
原子層堆積 (ALD) 装置
超高真空スパッタリング装置
小型マグネトロンスパッタリング装置
三源マグネトロンスパッタリング装置
Al蒸着装置
電子ビーム蒸着装置

熱処理装置装置：

急速加熱装置 (RTA)・・・

リソグラフィープロセス：

スピナー、アライナー、オーブン、顕微鏡、・・・

第２クリーンルーム（GIC）

成膜装置：

DCスパッタ装置(ロードロック式)
熱蒸着装置(特注)
平行平板型RIE装置 (RIE-10NR)

リソグラフィープロセス：

スピナー、アライナー、オーブン、顕微鏡、・・・

電子デバイス計測室

電子工作室

ソフトウェア

• • JDAT : SX-Meister, Ismo, Asca
  • CADENCE : OrCAD, Virtuoso, Allegro
  • SILVACO : TCAD, Analog/Mixed Signal/RF, Custom IC CAD
  • INFOLYTICA : ElecNet, MagNet
  • MATHWORKS : MATLAB, Symulinks