1F 第1クリーンルーム
クリックすると別ウィンドウで開きます。| 成膜装置 | |
|---|---|
 ECRスパッタリング装置 |
 原子層堆積 (ALD) 装置 |
 超高真空スパッタリング装置 |
 小型マグネトロンスパッタリング装置 |
 三源マグネトロンスパッタリング装置 |
 Al蒸着装置 |
 電子ビーム蒸着装置 |
|
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| 熱処理装置 | |
|---|---|
 急速加熱装置 (RTA) |
 酸化/アニール炉 |
 ウェット酸化炉/拡散炉 |
 高温処理炉 |
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| その他 | |
|---|---|
 マスクアライナー (ミカサ(株)製) |
 マスクアライナー (大日本印刷社製) |
 反応性イオンエッチング装置 |
 クリーンベンチ |
 エリプソメトリー |
 光学顕微鏡 |
 小型プラズマ装置 |
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