九州大学グローバルイノベーションセンター 機能デバイス領域

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3F 試料評価室PR-32/33

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評価・分析装置

DLTS (Deep Level Transient Spectroscopy)

インピーダンス測定器

原子間力顕微鏡 (AFM)

ホール効果測定装置

半導体電気特性評価装置

膜厚測定システム
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