半導体・デバイスエコ研究教育センター（CSeDE）は、我が国大学としてトップクラスの規模となるクリーンルーム及び研究に特化した半導体プロセス・デバイス化装置群を保有している。
概要
清浄度クラス1,000（1立方フィート内に含まれる直径0.5ミクロン以上の塵埃1,000以下を保証）の200㎡のクリーンルームに、半導体プロセス・デバイス化に必須の成膜装置、熱処理装置、フォトグラフィー・エッチング装置及び分析装置等を装備する。
利用実績
クリーンルーム及び装置を利用して、デバイス化（IV族半導体、二次元材料の電子デバイス化）及び各種試作（パワーデバイスモジュール上のセンサー、薄膜トランジスタ、スピンMOSトランジスタ）等の様々な半導体・デバイスの試作が実施されてきており、これらの実績をもとに広範囲な半導体技術・ノウハウを蓄積・保持している。
使用件数の推移
- 2024年度 7件（2024.7月16日時点）
- 2023年度 13件
- 2022年度 12件
- 2021年度 7件
施設の利用方法
１．使用ができる者
(1)九州大学（以下、「本学」という。）の教員、学術研究員等の研究者（以下、「研究者」という。）及び学生
①CSeDEの教員（併任及び協力教員含む。）及び研究者
②①以外の組織の教員及び研究者
③指導教員の下で実験を実施する学生
(2)本学以外の教育研究機関等に属する教員及び研究者でセンター長が適当と認める者
(3)その他副センター長が適当と認める者
２．使用許可
使用しようとする者は、あらかじめ、別紙の様式により、センター長に申請し、その許可を受けなければならない。
(1)センター長は、申請内容を総合的に判断して、使用に係る許可又は不許可の決定を行う。
(2)(1)の規定により使用を許可された者（以下、「使用者」という。）は、当該使用の途中において、 (1)の規定により許可を受けた内容を変更する必要が生じたときは、所定の様式により、あらかじめセンター長に願い出て、その許可を受けなればならない。
(3)使用しようとする者は、あらかじめ、運転に関する取扱いについて研修を受けなければならない。
(4)防塵服は、使用者が準備するものとする。
３．申請書類
①別紙 第１クリーンルーム使用願
②別紙１ 使用予定表
４．使用料金
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